就
是
對
待
工
作
的
態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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四腔HMDS真空烘箱 電腦式多工位HMDS烘箱
發布時間: 2025-09-16 09:25
四腔HMDS真空烘箱 電腦式多工位HMDS烘箱主要作用
設備將六甲基二硅烷（HMDS）快速、均勻且經濟高效的對襯底預處理，從而提高襯底與光刻膠的附著力。
優質的光刻膠附著力是后續所有工藝步驟的基礎，只有經過充分底涂的表面才能精準復現亞微米級的共聚焦光闌，避免出現邊緣爆邊、或括副等問題。真空固化工藝能徹底脫水基板，使與HMDS層形成的優異結合力即使在暴露于大氣濕度數周后仍能保持穩定。
四腔HMDS真空烘箱 電腦式多工位HMDS烘箱工藝特點
化學沉積均勻性
接觸角均一性更好
防潮表面處理
光刻膠的附著力可提高 3-5 倍
避免填充空洞（Void）形成，提高圖形轉移質量
增強光阻附著性
六甲基二硅烷（HMDS）消耗量更低
適用行業：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、藍寶石、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、砷化鎵、鈮酸鋰和、磷化銦、金剛石等第三代半導體材料。
四腔HMDS真空烘箱 電腦式多工位HMDS烘箱性能
容積:40L*4,（1-12寸產品及碎片兼容）可定制
操作應用：4工位獨立控制
溫度范圍：RT+20-200℃
真空度：≤1torr
自動化：電腦式控制+MES上機位控制
真空泵：無油渦旋真空泵
HMDS藥液泄漏報警提示功能
HMDS低液位報警提示功能
工藝數據記錄功能
程序鎖定保護等功能
上一個：
無
